✂️ 전공정2_식각 (Etching)

1. 공정 정의

• 노광 공정 후, 회로 패턴을 제외한 불필요한 부분(웨이퍼막)을 깎아내는 공정입니다.

2. 핵심 기술

• 건식 식각 (Dry Etch): 가스를 이용해 수직으로 정교하게 깎는 기술
• 식각 가스/부품: 고온 가스를 견디는 쿼츠나 SiC링 소모품이 중요합니다.

3. 관련 기업 (증거금 20%)

• 원익IPS (식각 장비)
• 주성엔지니어링 (식각 및 증착 장비)
• 티씨케이 (식각용 SiC링)

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